多输控制的超精密铣削加工机或者超精密加工中中心的构造可以根据将刀具和工件沿着进给轴用纳米精 定位的结构来区分。

可以通过用统合在电机上的丝杠传送驱动还是采用直接驱动的线型电机来区分，丝杠驱动又可以区分滚珠丝扛和静压丝杠。由于低摩擦而又高正直度地移动作台，被驱动的工作台的导向也被区分为滚动导轨和静压（油、空气）导轨。旋转部和轴承也都如此。

在在所强调的几种操作方便和性能的超精密5轴控制加工机已经上市销售了，但一般都是定位精度纳米。

要想超精密地自由地加工带有自由曲面等的3维微型复杂型状就需要有作为旋转刀具的微小直径的金 钻制球头立铣刀。但是这种刀具市场上并没有销售。所以在数十年前，使用的是从微小直径的单晶钻石刀头切去片侧从旋转轴略微偏移（offset偏置）的被称为疑似球头立铣刀的刀具。

但是，如果通过多轴控制可以使刀具倾斜加工以回避切削0速度，那么偏置就不需要了。

现在不使用疑似球头立铣刀，而是通过多轴控制利用通常的球头立铣刀，可以超精密地加工带有复杂曲面的小工件了。曲面加工所需要的NC数据可以使用3维CAD系统或者扫描模型来制作。

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